Рощин В.М.: Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники: Часть 2
(fb2, 180 страниц, 911 Kb)
Жанр: Нанотехнологии
Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2010
Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.