Яфаров Р.К.: Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Скачать книгу (размер 1 095 Kb , формат fb2, страниц 216) Аннотация: В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова.…