Седаков А.Ю.: Теплопленочные элементы в микроэлектронике: Основы проектирования и изготовления
Скачать книгу (размер 850 Kb , формат fb2, страниц 168) Аннотация: «Рассмотрено формирование тонкопленочной элементной базы микросборок, позволяющее создавать микроэлектронную аппаратуру с широким диапазоном функциональных возможностей и высокими точностными характеристиками; изложены принципы проектирования тонкопленочных элементов микросборок (МСБ): проводящих структур, резистивных элементов, тонкопленочных реактивных элементов (конденсаторов и…