Дьяконов В.П.: Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
Скачать книгу (размер 3 502 Kb , формат fb2, страниц 688) Аннотация: Первая в России монография по самым современным электронным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, применяемым в научных исследованиях, тестировании и испытании устройств и систем микроэлектроники и нанотехнологий. Впервые подробно описаны средства измерений, применяемые в условиях крупносерийного микроэлектронного производства, и приборы ведущих в их разработке и производстве фирм:…